SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月(yuè)4-6日，广明源将参展2025 SEMI-e 中国（深圳）国际(guójì)半导体展览会，诚邀行业伙伴莅临(lìlín)14号馆14G22展位，现场交流172nm准分子光科技在半导体制造中的创新(chuàngxīn)应用，共探制程优化新路径。 172nm MINI实验模组(mózǔ) 新品首发 本次展会(zhǎnhuì)，广明源将首发(shǒufā)推出自主研发的新品——172nm MINI实验模组(mózǔ)。该产品专为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产环节设计，具备结构精简、成本可控、桌面即放(jífàng)即用、便携灵活等特点，适配多种实验环境与制程需求。 172nm 深(shēn)紫外黑科技 可高效分解晶圆表面有机残留，提升洁净度(jiéjìngdù)与(yǔ)附着性能，为封装、清洗等工艺提供稳定前处理方案。 极简结构，桌面级准分子实验新体验(xīntǐyàn) 由于传统准分子(zhǔnfènzǐ)光辐照器因高纯度 N₂填充结构复杂，难以实现桌面级灵活实验。广明源创新推出紧凑台式准分子光照(guāngzhào)射器——172nm MINI实验模组，机身仅相当于书本大小(dàxiǎo)，采用高集成(jíchéng)轻量化设计，打破空间与成本壁垒，助力高校、企业及研究(yánjiū)机构轻松(qīngsōng)搭建准分子光实验环境，满足平板显示光清洗、塑料表面改性等多领域研发需求。 封装工艺表面清洁(qīngjié)处理 超净化超微细(wēixì)清洗工艺验证 172nm 系列全线亮相共襄盛会(shènghuì) 除新品发布外，广明源还将展出多款172nm准分子系列光源(guāngyuán)与模组产品，覆盖晶圆清洗(qīngxǐ)、半导体基材表面活化、超纯水TOC降解等多个关键工艺环节，为(wèi)制程优化与设备升级提供更多选择。 172nm准分子(zhǔnfènzǐ)系列光源 172nm准分子系列模组及(jí)设备 SEMI-e 2025 ，诚邀莅临(lìlín) 欢迎半导体制造企业、设备厂商、工艺研发工程师及行业伙伴莅临参观交流(jiāoliú)，现场了解172nm准分子光科技在半导体制造领域的多元(duōyuán)应用，共同探讨合作(hézuò)机会。 2025 SEMI-e 中国（深圳(shēnzhèn)）国际半导体展览会 时间：2025年6月(yuè)4-6日 地点：深圳国际会展中心(huìzhǎnzhōngxīn)14号馆 （本文(běnwén)来源：日照新闻网。本网转发此文章，旨在为读者提供更(gèng)多信息资讯，所涉内容不构成投资、消费建议。对文章事实有疑问，请与有关方核实或与本网联系。文章观点非本网观点，仅供读者参考(cānkǎo)。）